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仪器内部计算机有三种常用的校准程序:频率校准、幅度校准和预选器校准。
频率校准
当频谱分析仪经受振动、运输、长期存放或较大的环境温度变化时,频谱分析仪的频率调谐会发生变化,从而产生频率测量误差。现象。仪器校准过程主要是以300MHz信号作为参考信号,对频谱分析仪的扫频时间、中心频率、量程(span)、YIG主线圈延迟、副线圈灵敏度、扫频灵敏度进行误差校准,使频谱分析仪的频率调谐范围正常。 仪器校准方法是:使用频率/幅度校准电缆将校准信号(CAL OUTPUT)连接到频谱分析仪的信号输入端。按【CAL】(CALFREQ),频谱分析仪进入频率校准程序。校准完成之后,屏幕上会出现“CALDONE”信息,按之下【CALSTORE】键将校准数据存储在仪器的E2PROM之中。振幅校准
与频率仪器校准一样,当频谱分析仪的测量幅度精度发生变化时,仪器可以通过幅度校准程序满足出厂指标。该过程主要以300MHz信号作为参考信号,对整个通道进行幅度、分辨率、带宽滤波、对数放大、输入衰减等处理。幅度误差测量和校正。
激光干涉仪是用光波为基础载体,以激光为长度基准的、高灵敏度的检测仪器。激光干涉仪不但广泛用于数控机床、激光切割机、光刻机等设备,还能用于计量校准领域。
1.成像仪的定位精度的测量 传统化成像仪检测方式是使用线性比例尺比较法开展的,具有检测精度低、测量系统偏差大、欠缺原因分析功能、改进措施有偏差、检测效率低等现象。激光干涉仪适合于快速检测成像仪的定位误差,计算和分析测量数据,并通过该软件制作补充文件,快速实现二维平面多点补充,可大幅度降低设备制造环节的度计量校准难度,提升计量校准效率和补充效率。2.测量三坐标测量机的示值误差 伴随着三坐标测量机技术上的更新和进步,使用传统化量块和球板可能很难达到大型三坐标测量机的检测需求。激光干涉仪检测精度高,检测范围大,测量数据丰富。可用于测量三坐标系的几何误差。
3.长度测量机计量校准 传统化长度测量机的示值误差主要通过量块做好计量校准,受环境因素影响较大,对计量校准标准要求严格,而检测范围超过1米的长度测量机须要分段校准,这也是低效率的,而使用激光干涉仪做好校准,不但可以提升效率,也可以通过环境补充单元对空气温度、压力、湿度和物料温度进行补偿,提升计量校准度。4.位移传感器验证 用激光干涉仪对位移传感器做好计量校准已成为了一种发展方向,特点是检测精度高、响应速度快、有利于数字化测量。在测量之中建立一个精密导轨,然后把反射镜和被测传感器放一起做好同步检测,从而产生对比。位移传感器自动检定系统和SJ6000激光干涉仪(标准)对定长位移进行了测试和对比,取得往复试验实验结果。
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